微型隔膜泵是指微型真空泵，它有一个抽气嘴和一个排气嘴，一个入口和一个出口。泵内隔膜通过机械装置往复运动，进口处连续形成真空或负压，排气口处形成微正压；工作介质主要是气体，这是一种小型仪器。

微型隔膜泵的工作原理：

第一种工作方式：电机的圆周运动使泵内的膜片通过机械装置作往复运动，从而压缩和拉伸泵腔内的空气，形成负压。空气抽取口和外部大气压力之间存压差。压差的作用下，气体被吸入泵腔，然后从排气口排出。

第二种工作方式：微隔膜泵利用螺杆的旋转来吸排液体。微型隔膜泵的中间螺钉为主动螺钉，由原动机驱动旋转，两侧螺钉为从动螺钉，与主动螺钉反向旋转。主动和从动螺钉的螺纹为双头螺纹。由于每个螺杆的相互啮合以及螺杆与缸套内壁的紧密配合，微型隔膜泵的吸入口和排出口之间将分离出一个或多个密封空间。随着螺杆的旋转和啮合，这些密封空间泵的吸入端不断形成，以密封吸入室中的液体，并沿螺杆的轴向不断从吸入室移动到排出端，从而不断排出每个空间中封闭的液体，就像螺纹旋转时螺母不断向前推动一样。这是微型隔膜泵的基本工作原理。